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聚焦科技 | QD中国引进石墨烯/二维材料电学性质非接触快速测量全新技术
i实验室 / 2020-04-15

西班牙Das-Nano公司成立于2012年,是一家专注研发高安全级别打印设备、太赫兹无损检测设备以及个人身份安全验证设备的高科技公司。近日,该公司重磅推出了全球可以实现大面积(8英寸wafer)石墨烯和其他二维材料的100%全区域无损非接触快速电学测量系统-ONYX。

ONYX-1.png

石墨烯/二维材料电学性质非接触快速测量系统-ONYX 设备图


ONYX采用一体化的反射式太赫兹时域光谱技术(THz-TDS)弥补了传统接触测量方法(如四探针法- Four-probe Method,范德堡法-Van Der Pauw和电阻层析成像法-Electrical Resistance Tomography)及显微方法(原子力显微镜-AFM, 共聚焦拉曼-Raman,扫描电子显微镜-SEM以及透射电子显微镜-TEM)之间的不足和空白。ONYX可以快速测量从0.5 mm2到~m2的石墨烯及其他二维材料的电学特性,为科研和工业化提供了一种颠覆性的检测手段。与其他大面积测试方法(例如四探针方法)相比,ONYX能够测量样品质量的空间分布信息,并且属于无损测试,在实验过程中不会对样品产生任何损伤。与传统显微方法相比,对大面积的样品可以以微米级的空间分辨率快速表征,能够极大的节约测量时间,提高效率[1,2]


ONYX参数及特点

样品大小: 10x10mm-200x200mm  

超快测量速度:12cm2/min

样品100%全覆盖测量

无需样品制备

可定制样品测量面积(m2量级)

最高分辨率:50μm

非接触快速测量

无损快速测量


ONYX主要功能

→  直流电导率(σDC)

→  载流子迁移率, μdrift

→  直流电阻率, RDC

→  载流子浓度, Ns

→  载流子散射时间,τsc

→  表面均匀性


ONYX应用方向

石墨烯

光伏薄膜材料

半导体薄膜

电子器件

PEDOT

钨纳米线

GaN颗粒

Ag 纳米线


目前,ONYX在国际知名研究机构和工业化领域已经安装多套设备,包括:丹麦技术大学(DTU),牛津仪器,德国BOSH公司,LG化学,3M公司,西班牙Graphenea公司等。Quantum Design中国子公司也于2020年正式将该产品引进中国,为中国客户提供独家高效的技术支持和解决方案,欢迎广大科研工作者垂询。

 

参考文献

[1] Cultrera, A., Serazio, D., Zurutuza, A. et al. Mapping the conductivity of graphene with Electrical Resistance Tomography. Sci Rep 9, 10655 (2019).

[2] Melios, C., Huang, N., Callegaro, L. et al. Towards standardisation of contact and contactless electrical measurements of CVD graphene at the macro-, micro- and nano-scale. Sci Rep 10, 3223 (2020).



来源:仪器信息网